1600℃真空管式炉工艺要求操作规程详解　　1．打开高温真空气氛炉炉门取出隔热屏，放入处理物品于高温区内，再将隔热屏放好，关闭炉门锁紧，并关好所有阀门。　　2．接通气氛管式炉电源，打开循环水。　　3．高温真空气氛炉操作使用方法：　　①开机械泵，开真空阀，抽真空至真空压力表达到-0.1mPa后关闭真空阀。　　②开保护气体减压阀，开真空阀，对炉膛充气，使真空压力表回至“0”后，关闭真空阀。　　③重复步骤①和②三次，使炉膛内的空气被排尽。　　④关机械泵。对炉膛充气使真空压力表回至“0”后，打开放气阀，调节微调阀，使气体流量稳定，出气端水泡连续。　　⑤对炉膛进行加温，应按“调节仪”进行，结合实验工艺要求操作。　　⑥实验结束，炉子温度降至实验工艺要求范围后，先关闭放气阀，在关闭真空阀，关微调阀和气体减压阀。　　⑦关闭总电源、循环水（一般炉温小于60℃，关闭循环水）。　　高温真空气氛炉的注意事项：　　1、清化jia(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。　　2、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。　　3、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。　　4、请节约纯水用量。　　5、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如:cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。　　6、处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。　　7、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。　　8、晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。　　9、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。　　10、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。　　11、破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。